特殊熱電対Special Application

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Ceracoat thermocoupleセラーコート熱電対

熱電対素線をセラミックスコーティングすることにより、作業性に難点のあった絶縁管や保護管を不要にした新しいセラコート熱電対です。

特長 作業性良好 絶縁管の継ぎ目で捻れたり短絡がない。
省スペース 実質的には熱電対と同径。
軽量 実質的には熱電対と同重量です。
高可撓性 絶縁管や保護管による制約がない。限界曲径 100d以上
非ガス放出性 超高真空内で使用可能。
分野 用途 基板、ウエハーの温度分布測定。
各種蒸着装置、スパッタリング装置の基板温度測定、分析装置内の温度測定。
精密焼成炉、精密合成炉内の温度測定。
仕様 熱電対素線 TYPE K,10M以上より販売
線径 標準はφ0.32 受注生産はφ0.10,φ0.20,φ0.65
性能 絶縁破壊電圧100V以上,被膜厚さ5~20μm,最高温度700℃

表を左右にスライドできます

【 注意 】 温接点加工および端末加工時はセラミックス皮膜除去を行わないと正しい起電力を発生しない事があります。

セラコート熱電対 使用例

  • 熱電対のウエハー面取付位置

  • 基板シリコンウエハー5インチにセラコート熱電対を各所に取付けた状態

  • 【 例 】 熱電対の取付位置

    中心および周辺

    基板 シリコン 5インチ 0.68,セラコート熱電対 K φ0.2